傳統的機(jī)械加工(gōng)方法(普通加工(gōng))與精密和超精密加工(gōng)方法一樣。随着新技術(shù)、新工(gōng)藝、新設備以及新的測試技術(shù)和儀器的采用,其加工(gōng)精度都(dōu)在不斷地提高。
加工(gōng)精度的不斷提高,反映了加工(gōng)工(gōng)件(jiàn)時材料的分(fēn)割水平不斷由宏觀進入微觀世界的發展趨勢。随着時間的進展,原來(lái)認爲是難以達到的加工(gōng)精度會變得(de)相(xiàng)對容易。因此,普通加工(gōng)、精密加工(gōng)和超精密加工(gōng)隻是一個相(xiàng)對概念?其間的界限随着時間的推移不斷變化。精密切削與超精密加工(gōng)的典型代表是金剛石切削。
以金剛石切削爲例。其刀刃口圓弧半徑一直在向更小的方向發展。因爲它的大(dà)小直接影(yǐng)響到被加工(gōng)表面的粗糙度,與光(guāng)學鏡面的反射率直接有關,對儀器設備的反射率要求越來(lái)越高。如(rú)激光(guāng)陀螺反射鏡的反射率已提出要達到99.99%,這就(jiù)必然要求金剛石刀具更加鋒利。爲了進行切極薄試驗,目标是達到切屑厚度nm,其刀具刃口圓弧半徑應趨近2.4nm。爲了達到這個高度,促使金剛石研磨機(jī)改變了傳統的結構。其中主軸軸承采用了空氣軸承作(zuò)爲支承,研磨盤的端面跳(tiào)動可(kě)在機(jī)床上自(zì)行修正,使其端面跳(tiào)動控制在0.5μm以下。
刀具方面,采用金剛石砂輪,控制背吃(chī)刀量和進給量,在超精密磨床上,可(kě)以進行延性方式磨削,即納米磨削。即使是玻璃的表面也可(kě)以獲得(de)光(guāng)學鏡面。2精密加工(gōng)和超精密加工(gōng)的發展趨勢從(cóng)長遠(yuǎn)發展的觀點來(lái)看(kàn),制造技術(shù)是當前世界各國(guó)發展國(guó)民(mín)經濟的主攻方向和戰略決策,是一個國(guó)家經濟發展的重要手段之一,同時又是一個國(guó)家獨立自(zì)主、繁榮昌盛、經濟上持續穩定發展、科(kē)技上保持領先的長遠(yuǎn)大(dà)計(jì)。科(kē)技的發展對精密加工(gōng)和超精密加工(gōng)技術(shù)也提出了更高的要求。從(cóng)大(dà)到天體(tǐ)望遠(yuǎn)鏡的透鏡,小到大(dà)規模集成電路(lù)線寬μm要求的微細工(gōng)程和微機(jī)械的微納米尺寸零件(jiàn),不論體(tǐ)積大(dà)小,其最高尺寸精度都(dōu)趨近于納米;零件(jiàn)形狀也日(rì)益複雜化,各種非球面已是當前非常典型的幾何形狀。微機(jī)械技術(shù)爲超精密制造技術(shù)引來(lái)一種嶄新的态勢?它的微細程度使傳統的制造技術(shù)面臨一種新的挑戰,促進了各種産品技術(shù)性能的提高,發展過程呈現出螺旋式循環發展,直接對科(kē)學技術(shù)的進步和人(rén)類文明作(zuò)出貢獻。對産品高質量、小型化、高可(kě)靠性和高性能的追求,使超精密加工(gōng)技術(shù)得(de)以迅速發展,現已成爲現代制造工(gōng)業的重要組成部分(fēn)
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